Archivio Istituzionale della RicercaNanostructured silicon carbon thin films grown by plasma enhanced chemical vapour deposition technique / U., C., G., A., D. K., B., V., R., Ferrero, S., Virga, A.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 543:(2013), pp. 27-31. [10.1016/j.tsf.2013.03.073]
Nanostructured silicon carbon thin films grown by plasma enhanced chemical vapour deposition technique
FERRERO, SERGIO;VIRGA, ALESSANDRO
2013
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https://hdl.handle.net/11583/2513798
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