Structural and chemical analysis of self-aligned titanium silicide formed by furnace annealing / Barbarini, Elena; Guastella, SALVATORE ANTONIO; Pirri, Candido. - ELETTRONICO. - (2010), pp. 333-336. ((Intervento presentato al convegno IEEE ASDAM 2010, 8th International Conference on Advanced Semiconductor Devices & Microsystems tenutosi a Smolenice (Slovakia) nel 25-27 Oct. 2010 [10.1109/ASDAM.2010.5666357].

Structural and chemical analysis of self-aligned titanium silicide formed by furnace annealing

BARBARINI, ELENA;GUASTELLA, SALVATORE ANTONIO;PIRRI, Candido
2010

9781424485741
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