Structural and chemical analysis of self-aligned titanium silicide formed by furnace annealing / Barbarini E.; Guastella S.; Pirri C. F.. - ELETTRONICO. - (2010), pp. 333-336. ((Intervento presentato al convegno IEEE ASDAM 2010, 8th International Conference on Advanced Semiconductor Devices & Microsystems tenutosi a Smolenice (Slovakia) nel 25-27 Oct. 2010 [10.1109/ASDAM.2010.5666357].
Titolo: | Structural and chemical analysis of self-aligned titanium silicide formed by furnace annealing | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 2010 | |
ISBN: | 9781424485741 | |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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http://hdl.handle.net/11583/2380062
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