Furnace annealing effects in the formation of titanium silicide Schottky barriers / Barbarini, Elena; Guastella, SALVATORE ANTONIO; Pirri, Candido. - STAMPA. - (2010), pp. 119-122. (Intervento presentato al convegno IEEE RTP, Proceedings of the 18th IEEE Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors tenutosi a Gainesville (USA) nel Sept. 28 2010-Oct. 1 2010) [10.1109/RTP.2010.5623793].
Furnace annealing effects in the formation of titanium silicide Schottky barriers
BARBARINI, ELENA;GUASTELLA, SALVATORE ANTONIO;PIRRI, Candido
2010
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