Archivio Istituzionale della RicercaCharacterization of polycrystalline 3C(β)-SiC thin films for MEMS and pressure sensors application / Cavallini, A.; Rossi, M.; Cocuzza, Matteo; Ricciardi, Carlo. - STAMPA. - ASDAM 2004 - Conference Proceedings, 5th International Conference on Semiconductor Devices and Microsystmes:(2004), pp. 25-28. (Intervento presentato al convegno ASDAM 2004 - 5th International Conference on Semiconductor Devices and Microsystmes tenutosi a Smolenice Castle, Slovakia nel October 17-21).
Characterization of polycrystalline 3C(β)-SiC thin films for MEMS and pressure sensors application
COCUZZA, MATTEO;RICCIARDI, Carlo
2004
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https://hdl.handle.net/11583/2372006
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