Reliability of MEMS: effects of different stress conditions and mechanical fatigue failure detection / SOMA' A.; DE PASQUALE G.. - (2010), pp. 72-80. ((Intervento presentato al convegno Proc. of the VIth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH) tenutosi a Lviv (Ukraine) nel 20-23 April 2010.
Titolo: | Reliability of MEMS: effects of different stress conditions and mechanical fatigue failure detection | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 2010 | |
ISBN: | 9781424473250 | |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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http://hdl.handle.net/11583/2371216
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