Electon Beam Lithography @ Chilab / Giurdanella, S; Celasco, Edvige; Allia, PAOLO MARIA EUGENIO ICILIO; Pirri, Candido. - (2008). ((Intervento presentato al convegno Raith meeting CNR IMM tenutosi a Primolsole Catania (Italy) nel 10 June 2008.
Titolo: | Electon Beam Lithography @ Chilab |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2008 |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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http://hdl.handle.net/11583/2366479
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