Archivio Istituzionale della RicercaParametric Study on Operating Conditions and Energy Efficiency For Two-Stage Hybrid RF-RF and One-Stage Modified-Coil RF Plasma Torches / D., Bernardi; V., Colombo; Coppa, Gianni; E., Ghedini; A., Mentrelli. - 1:(2001), pp. 161-166. (Intervento presentato al convegno 15th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-15) tenutosi a Orléans, France nel 9-13 July 2001).
Parametric Study on Operating Conditions and Energy Efficiency For Two-Stage Hybrid RF-RF and One-Stage Modified-Coil RF Plasma Torches.
COPPA, Gianni;
2001
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https://hdl.handle.net/11583/1896729
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