Parametric Study on Operating Conditions and Energy Efficiency For Two-Stage Hybrid RF-RF and One-Stage Modified-Coil RF Plasma Torches / D., B., V., C., Coppa, G., E., G., A., M.. - 1:(2001), pp. 161-166. (15th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-15) Orléans, France 9-13 July 2001).

Parametric Study on Operating Conditions and Energy Efficiency For Two-Stage Hybrid RF-RF and One-Stage Modified-Coil RF Plasma Torches.

COPPA, Gianni;
2001

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