Archivio Istituzionale della RicercaMechanical Fatigue on Gold MEMS Devices: Experimental Results / DE PASQUALE, Giorgio; Soma', Aurelio; Ballestra, Alberto. - (2008), pp. 11-15. (Intervento presentato al convegno Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS & MOEMS (DTIP) tenutosi a Nice).
Mechanical Fatigue on Gold MEMS Devices: Experimental Results
DE PASQUALE, GIORGIO;SOMA', AURELIO;BALLESTRA, Alberto
2008
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https://hdl.handle.net/11583/1858874
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