Tecniche di microscopia ottica interferometrica nelle misure statiche e dinamiche di microstrutture MEMS / DE PASQUALE, Giorgio; Soma', Aurelio. - (2007), pp. 445-447.
Tecniche di microscopia ottica interferometrica nelle misure statiche e dinamiche di microstrutture MEMS
DE PASQUALE, GIORGIO;SOMA', AURELIO
2007
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https://hdl.handle.net/11583/1847805
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