Reliability in MEMS and Mechanical Fatigue Tests on Gold Micro-Structures / DE PASQUALE, Giorgio; Soma', Aurelio. - (2008), pp. 91-93. (Intervento presentato al convegno IVth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH 2008) tenutosi a Lviv, Ukraine nel May 2008) [10.1109/MEMSTECH.2008.4558749].
Reliability in MEMS and Mechanical Fatigue Tests on Gold Micro-Structures
DE PASQUALE, GIORGIO;SOMA', AURELIO
2008
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https://hdl.handle.net/11583/1847804
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