Design and Finite Element Simulation of MEMS for Fatigue Test / DE PASQUALE, Giorgio; Soma', Aurelio. - 1:(2007), pp. 159-162. [10.1109/SMICND.2007.4519671]
Design and Finite Element Simulation of MEMS for Fatigue Test
DE PASQUALE, GIORGIO;SOMA', AURELIO
2007
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https://hdl.handle.net/11583/1847801
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