Archivio Istituzionale della RicercaIdentification of test structures for Reduced Order Modeling of the squeeze film damping in MEMS / Soma', Aurelio; DE PASQUALE, Giorgio. - (2007), pp. 230-239. (Intervento presentato al convegno Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP) tenutosi a Stresa, Italy nel 2007).
Identification of test structures for Reduced Order Modeling of the squeeze film damping in MEMS
SOMA', AURELIO;DE PASQUALE, GIORGIO
2007
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https://hdl.handle.net/11583/1810500
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