Dehydrogenation and sp3 enhancement in PECVD a-C:H by catalytic selective etching of H2 / S. NEUVILLE; A. TAGLIAFERRO; Y. BOUNOUH; S. VALLON; R. ETEMADI; J. PERRIN. - In: LE VIDE. - ISSN 1266-0167. - Suppl. 275(1995), pp. 64-64. ((Intervento presentato al convegno 10th International colloquium on plasma processes : CIP'95 proceedings tenutosi a Antibes, Juan-les-Pins (FRA) nel 11-15 juin, 1995.
Titolo: | Dehydrogenation and sp3 enhancement in PECVD a-C:H by catalytic selective etching of H2 | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 1995 | |
Rivista: | ||
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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http://hdl.handle.net/11583/1662928
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