Archivio Istituzionale della RicercaDehydrogenation and sp3 enhancement in PECVD a-C:H by catalytic selective etching of H2 / S., Neuville; Tagliaferro, Alberto; Y., Bounouh; S., Vallon; R., Etemadi; J., Perrin. - Suppl. 275:(1995), pp. 64-64. (Intervento presentato al convegno 10th International colloquium on plasma processes : CIP'95 proceedings tenutosi a Antibes, Juan-les-Pins (FRA) nel 11-15 juin, 1995).
Dehydrogenation and sp3 enhancement in PECVD a-C:H by catalytic selective etching of H2
TAGLIAFERRO, Alberto;
1995
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https://hdl.handle.net/11583/1662928
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