Structural properties of high quality a-SiN:H films grown by plasma enhanced chemical vapour deposition / Giorgis, Fabrizio; Pirri, Candido; Tresso, Elena Maria. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 307:(1997), pp. 298-305.
Structural properties of high quality a-SiN:H films grown by plasma enhanced chemical vapour deposition
GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido;TRESSO, Elena Maria
1997
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https://hdl.handle.net/11583/1661242
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