Boron and phosphorus doping of a-SiC:H thin films by means of ion implantation / F., Demichelis; G., Crovini; Pirri, Candido; Tresso, Elena Maria; R., Galloni; C., Summonte; R., Rizzoli; F., Zignani; P., Rava. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 265:(1995), pp. 113-118.

Boron and phosphorus doping of a-SiC:H thin films by means of ion implantation

PIRRI, Candido;TRESSO, Elena Maria;
1995

1995
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