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Structural and electrical properties of undoped microcrystalline silicon films grown by UHV and VHF PECVD / R., F., H., M., G., C., F., D., Giorgis, F., Pirri, C., Tresso, E.M., J., P., V., R., S., Z.. - In: MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS. - ISSN 0272-9172. - 358:(1994), pp. 751-753. (MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS ).

Structural and electrical properties of undoped microcrystalline silicon films grown by UHV and VHF PECVD

GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido;TRESSO, Elena Maria;
1994
1994
4.1 Contributo in Atti di convegno
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