Structural and electrical properties of undoped microcrystalline silicon films grown by UHV and VHF PECVD / R., Fluckiger; H., Meier; G., Crovini; F., Demichelis; Giorgis, Fabrizio; Pirri, Candido; Tresso, Elena Maria; J., Pohl; V., Rigato; S., Zandolin. - In: MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS. - ISSN 0272-9172. - 358:(1994), pp. 751-753. (Intervento presentato al convegno MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS).
Structural and electrical properties of undoped microcrystalline silicon films grown by UHV and VHF PECVD
GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido;TRESSO, Elena Maria;
1994
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https://hdl.handle.net/11583/1661215
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