Boron and phosphorus ion implantation in a-SiC:H thin films / R., G., R., R., C., S., F., D., Pirri, C., E., T., G., C.. - 336:(1994), pp. 571-573. (MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS ).

Boron and phosphorus ion implantation in a-SiC:H thin films

PIRRI, Candido;
1994

1994
02729172
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
Pubblicazioni consigliate

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11583/1661212
 Attenzione

Attenzione! I dati visualizzati non sono stati sottoposti a validazione da parte dell'ateneo