Boron and phosphorus ion implantation in a-SiC:H thin films / R. GALLONI; R. RIZZOLI; C. SUMMONTE; F. DEMICHELIS; PIRRI C.; E. TRESSO; G. CROVINI. - 336(1994), pp. 571-573. ((Intervento presentato al convegno MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS.
Titolo: | Boron and phosphorus ion implantation in a-SiC:H thin films | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 1994 | |
ISBN: | 02729172 | |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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http://hdl.handle.net/11583/1661212
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