Silicon carbon alloys produced by VHF and conventional PECVD. A comparison of their properties / G., Crovini; F., Demichelis; Pirri, Candido; Tresso, Elena Maria; J., Meier; S., Dubail; A., Shah. - 336:(1994), pp. 481-483. (Intervento presentato al convegno MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS).
Silicon carbon alloys produced by VHF and conventional PECVD. A comparison of their properties
PIRRI, Candido;TRESSO, Elena Maria;
1994
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https://hdl.handle.net/11583/1661211
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