Silicon carbon alloys produced by VHF and conventional PECVD. A comparison of their properties / G., C., F., D., Pirri, C., Tresso, E.M., J., M., S., D., A., S.. - 336:(1994), pp. 481-483. (MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS ).

Silicon carbon alloys produced by VHF and conventional PECVD. A comparison of their properties

PIRRI, Candido;TRESSO, Elena Maria;
1994

1994
02729172
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