Structure and morphology of microc-SiC:H produced by PECVD / F., D., G., C., Pirri, C., E., T., L., B.. - 283:(1992), pp. 543-545. (MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS ).

Structure and morphology of microc-SiC:H produced by PECVD

PIRRI, Candido;
1992

1992
02729172
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