Effects of ion implantation of boron and phosphorus in a-SiC:H thin films / F., Demichelis; Pirri, Candido; E., Tresso; R., Galloni; R., Rizzoli; C., Summonte. - 258:(1992), pp. 93-95. (Intervento presentato al convegno MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS).

Effects of ion implantation of boron and phosphorus in a-SiC:H thin films

PIRRI, Candido;
1992

1992
02729172
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