Physical properties of undoped and doped μc-SiC:H deposited by PECVD / F., D., Pirri, C., E., T., G., D., V. RIGATO AND P., R.. - 219:(1991), pp. 413-415. (MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS ).

Physical properties of undoped and doped μc-SiC:H deposited by PECVD

PIRRI, Candido;
1991

1991
02729172
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