Physical properties of undoped and doped μc-SiC:H deposited by PECVD / F.DEMICHELIS; PIRRI C.; E.TRESSO; G.DELLAMEA; V.RIGATO AND P.RAVA. - 219(1991), pp. 413-415. ((Intervento presentato al convegno MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS.
Titolo: | Physical properties of undoped and doped μc-SiC:H deposited by PECVD | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 1991 | |
ISBN: | 02729172 | |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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http://hdl.handle.net/11583/1661072
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