Mechanical Characterization of a Comb-Drive Structure to Applications in Accelerometers and Electromechanical Filters / MANFREDINI VASSOLER, Jakson; Franzner, S; Fonseca, J. S. O.; Iturrioz, I; Ribas, R. P.. - (2001), pp. 41-44. (Intervento presentato al convegno I STUDENT FORUM ON MICROELETRONICS tenutosi a Pirenópolis, GO - Brazil).

Mechanical Characterization of a Comb-Drive Structure to Applications in Accelerometers and Electromechanical Filters

MANFREDINI VASSOLER, Jakson;
2001

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