Plasma-assisted SiC oxidation for power device fabrication / Mandracci, Pietro; Ferrero, Sergio; Porro, Samuele; Ricciardi, Carlo; G., Richieri; Scaltrito, Luciano. - In: APPLIED SURFACE SCIENCE. - ISSN 0169-4332. - 238:(2004), pp. 336-340.
Plasma-assisted SiC oxidation for power device fabrication
MANDRACCI, Pietro;FERRERO, SERGIO;PORRO, SAMUELE;RICCIARDI, Carlo;SCALTRITO, LUCIANO
2004
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
Pubblicazioni consigliate
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento:
https://hdl.handle.net/11583/1646677
Attenzione
Attenzione! I dati visualizzati non sono stati sottoposti a validazione da parte dell'ateneo