Plasma-assisted SiC oxidation for power device fabrication / Mandracci, Pietro; Ferrero, Sergio; Porro, Samuele; Ricciardi, Carlo; G., Richieri; Scaltrito, Luciano. - In: APPLIED SURFACE SCIENCE. - ISSN 0169-4332. - 238:(2004), pp. 336-340.

Plasma-assisted SiC oxidation for power device fabrication

MANDRACCI, Pietro;FERRERO, SERGIO;PORRO, SAMUELE;RICCIARDI, Carlo;SCALTRITO, LUCIANO
2004

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