Experimental validation of modelling of the mechanincal behaviour of microbeam electrostatic actuators for radio-frequency MEMS / Soma', Aurelio; Ballestra, Alberto; Brusa, Eugenio; DE BONA, F; Munteanu, M.. - (2007). (Intervento presentato al convegno Computational Mechanics and Virtual Engineering - COMEC 2007 tenutosi a Brasov - ROMANIA nel ottobre 2007).
Experimental validation of modelling of the mechanincal behaviour of microbeam electrostatic actuators for radio-frequency MEMS
SOMA', AURELIO;BALLESTRA, Alberto;BRUSA, Eugenio;
2007
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https://hdl.handle.net/11583/1642996
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