Experimental validation of modelling of the mechanincal behaviour of microbeam electrostatic actuators for radio-frequency MEMS / Soma', Aurelio; Ballestra, Alberto; Brusa, Eugenio; DE BONA, F; Munteanu, M.. - (2007). (Intervento presentato al convegno Computational Mechanics and Virtual Engineering - COMEC 2007 tenutosi a Brasov - ROMANIA nel ottobre 2007).

Experimental validation of modelling of the mechanincal behaviour of microbeam electrostatic actuators for radio-frequency MEMS

SOMA', AURELIO;BALLESTRA, Alberto;BRUSA, Eugenio;
2007

File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
Pubblicazioni consigliate

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11583/1642996
 Attenzione

Attenzione! I dati visualizzati non sono stati sottoposti a validazione da parte dell'ateneo