Microcrystalline silicon–carbon films deposited by silane–methane mixture highly diluted in hydrogen / U., C., G., A., S., L., Maddalena, ., Ferrero, S.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 511-512:(2006), pp. 399-403.

Microcrystalline silicon–carbon films deposited by silane–methane mixture highly diluted in hydrogen

FERRERO, SERGIO
2006

2006
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