Characterization of polycrystalline SiC layers grown by ECR-PECVD for micro-electro-mechanical system / Ricciardi, Carlo; Bennici, E.; Cocuzza, Matteo; Mandracci, Pietro; Bich, D.; Guglielmetti, V.; Barucca, G.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 427:(2003), pp. 187-190.

Characterization of polycrystalline SiC layers grown by ECR-PECVD for micro-electro-mechanical system

RICCIARDI, Carlo;COCUZZA, MATTEO;MANDRACCI, Pietro;
2003

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