Characterization of polycrystalline SiC layers grown by ECR-PECVD for micro-electro-mechanical system / RICCIARDI C.; BENNICI E.; COCUZZA M.; MANDRACCI P.; BICH D.; GUGLIELMETTI V.; BARUCCA G.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 427(2003), pp. 187-190.
Titolo: | Characterization of polycrystalline SiC layers grown by ECR-PECVD for micro-electro-mechanical system |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2003 |
Rivista: | |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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http://hdl.handle.net/11583/1402502
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