Large area microcrystalline silicon films grown by ECR-CVD / Ferrero, Sergio; Mandracci, Pietro; Cicero, Giancarlo; Giorgis, Fabrizio; Pirri, Candido; G., Barucca. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 383:(2001), pp. 181-184.

Large area microcrystalline silicon films grown by ECR-CVD

FERRERO, SERGIO;MANDRACCI, Pietro;CICERO, Giancarlo;GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido;
2001

2001
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