Large area microcrystalline silicon films grown by ECR-CVD / FERRERO S.; P. MANDRACCI; G. CICERO; F. GIORGIS; C.F. PIRRI; G. BARUCCA. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 383(2001), pp. 181-184.
Titolo: | Large area microcrystalline silicon films grown by ECR-CVD |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2001 |
Rivista: | |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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http://hdl.handle.net/11583/1400380
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