Properties of a-SiC:H films deposited in high power regime / Ambrosone, G., Ballarini, V., Coscia, U., Ferrero, S., Giorgis, F., Maddalena, P., Patelli, A., Rigato, V.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 427:(2003), pp. 289-293.
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https://hdl.handle.net/11583/1400375
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