Properties of a-SiC:H films deposited in high power regime / Ambrosone, G; Ballarini, V; Coscia, U; Ferrero, Sergio; Giorgis, Fabrizio; Maddalena, P; Patelli, A; Rigato, V.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 427:(2003), pp. 289-293.
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https://hdl.handle.net/11583/1400375
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