Low temperature growth of SiO2 on SiC by plasma enhanced chemical vapor deposition for power device applications / Mandracci, Pietro; Ferrero, Sergio; Ricciardi, Carlo; Scaltrito, Luciano; Richieri, G; Sgorlon, C.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 427:(2003), pp. 279-283.
Low temperature growth of SiO2 on SiC by plasma enhanced chemical vapor deposition for power device applications
MANDRACCI, Pietro;FERRERO, SERGIO;RICCIARDI, Carlo;SCALTRITO, LUCIANO;
2003
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https://hdl.handle.net/11583/1400374
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