Micro-acoustic source for hearing applications fabricated with 0.35µm CMOS-MEMS process / Rufer, L.; De Pasquale, G.; Esteves, J.; Randazzo, F.; Basrour, S.; Soma', A.. - In: PROCEDIA ENGINEERING. - ISSN 1877-7058. - 120:(2015), pp. 944-947. [10.1016/j.proeng.2015.08.811]
Micro-acoustic source for hearing applications fabricated with 0.35µm CMOS-MEMS process
G. De Pasquale;A. Soma'
2015
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https://hdl.handle.net/11583/2703584
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