Piezoelectrically actuated MEMS microswitches for high current applications / Balma, Davide; Lamberti, Andrea; Marasso, SIMONE LUIGI; Perrone, Denis; Quaglio, Marzia; Canavese, Giancarlo; Bianco, Stefano; Cocuzza, Matteo. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - 88:8(2011), pp. 2208-2210. [10.1016/j.mee.2011.02.097]
Piezoelectrically actuated MEMS microswitches for high current applications
BALMA, DAVIDE;LAMBERTI, ANDREA;MARASSO, SIMONE LUIGI;PERRONE, DENIS;QUAGLIO, Marzia;CANAVESE, GIANCARLO;BIANCO, STEFANO;COCUZZA, MATTEO
2011
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https://hdl.handle.net/11583/2667646
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