Fabrication of quartz diaphragms for helium leak detection / Cocuzza, Matteo; Scaltrito, Luciano; Guastella, SALVATORE ANTONIO; Giovanola, L.; Vittozzi, S.; Carboneri, R.. - In: VACUUM. - ISSN 0042-207X. - ELETTRONICO. - 80:5(2006), pp. 432-437. [10.1016/j.vacuum.2005.07.009]

Fabrication of quartz diaphragms for helium leak detection

COCUZZA, MATTEO;SCALTRITO, LUCIANO;GUASTELLA, SALVATORE ANTONIO;
2006

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