Ultrathin perfluoropolyether coatings for silicon wafers: a XPS study / Vitale, Alessandra; Pollicino, A.; Bernardi, E.; Bongiovanni, Roberta Maria. - In: PROGRESS IN ORGANIC COATINGS. - ISSN 0300-9440. - ELETTRONICO. - 78:(2015), pp. 480-487. [10.1016/j.porgcoat.2014.06.014]
Ultrathin perfluoropolyether coatings for silicon wafers: a XPS study
VITALE, ALESSANDRA;BONGIOVANNI, Roberta Maria
2015
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https://hdl.handle.net/11583/2584388