Process optimisation of a MEMS based PZT actuated microswitch / A. Tommasi;G. Coletta;D. Balma;S.L. Marasso;D. Perrone;G. Canavese;S. Stassi;S. Bianco;M. Cocuzza;C.F. Pirri. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - 119:(2014), pp. 137-140. [10.1016/j.mee.2014.04.005]
Titolo: | Process optimisation of a MEMS based PZT actuated microswitch | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 2014 | |
Rivista: | ||
Digital Object Identifier (DOI): | http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2014.04.005 | |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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http://hdl.handle.net/11583/2544946
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