Process optimisation of a MEMS based PZT actuated microswitch / Tommasi, Alessio; Coletta, Giuseppe; Balma, Davide; Marasso, SIMONE LUIGI; Perrone, Denis; Canavese, Giancarlo; Stassi, Stefano; Bianco, Stefano; Cocuzza, Matteo; Pirri, Candido. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - 119:(2014), pp. 137-140. [10.1016/j.mee.2014.04.005]

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