Perfluoropolyether thin coatings for silicon wafers / Vitale, Alessandra; Pollicino, A.; Bernardi, E.; Bongiovanni, Roberta Maria. - (2013). ((Intervento presentato al convegno European Conference on Smart & Functional Coatings tenutosi a Torino, Italia nel 26-27 September 2013.

Perfluoropolyether thin coatings for silicon wafers

VITALE, ALESSANDRA;BONGIOVANNI, Roberta Maria
2013

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