Structure and morphology of μc-SiC:H films produced by PECVD / Demichelis, F.; Crovini, G.; Pirri, Candido; Tresso, Elena Maria; Battezzat, L.; Rava, P.. - In: MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS. - ISSN 0272-9172. - 283:(1993), pp. 543-548.

Structure and morphology of μc-SiC:H films produced by PECVD

PIRRI, Candido;TRESSO, Elena Maria;
1993

File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
Pubblicazioni consigliate

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11583/2504732
 Attenzione

Attenzione! I dati visualizzati non sono stati sottoposti a validazione da parte dell'ateneo