Archivio Istituzionale della RicercaStructural and electrical properties of undoped microcrystalline silicon grown by 70 MHz and 13.56 MHz PECVD / Flueckiger, R.; Meier, J.; Crovini, G.; Demichelis, F.; Giorgis, F.; Pirri, Candido; Tresso, Elena Maria; Pohl, J.; Rigato, V.; Zandolin, S.; Caccavale, F.. - In: MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS. - ISSN 0272-9172. - 358:(1995), pp. 751-756.
Structural and electrical properties of undoped microcrystalline silicon grown by 70 MHz and 13.56 MHz PECVD
PIRRI, Candido;TRESSO, Elena Maria;
1995
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https://hdl.handle.net/11583/2504729
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