MEMS mechanical fatigue: effect of mean stress on gold microbeams / DE PASQUALE, Giorgio; Soma', Aurelio. - In: JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS. - ISSN 1057-7157. - 20 (4):(2011), pp. 1054-1063. [10.1109/JMEMS.2011.2160044]

MEMS mechanical fatigue: effect of mean stress on gold microbeams

DE PASQUALE, GIORGIO;SOMA', AURELIO
2011

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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11583/2458645
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