Real-time temperature measurement during a laser annealing process featuring a microthermocouple array: Exploiting nano and micro-metrology / Chiolerio, Alessandro; Pandolfi, Paolo; Maccioni, Gabriele; Sacco, Adriano; Perrone, Denis; Grange, Gianmarco. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - STAMPA. - 88:(2011), pp. 2484-2488. [10.1016/j.mee.2011.02.039]

Real-time temperature measurement during a laser annealing process featuring a microthermocouple array: Exploiting nano and micro-metrology

CHIOLERIO, ALESSANDRO;PANDOLFI, PAOLO;MACCIONI, GABRIELE;SACCO, ADRIANO;PERRONE, DENIS;GRANGE, GIANMARCO
2011

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