Two clover-shaped piezoresistive silicon microphones for photo acoustic gas sensors / C., Grinde; Sanginario, Alessandro; P. A., Ohlckers; G. U., Jensen; M. M., Mielnik. - In: JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING. - ISSN 0960-1317. - 20:(2010). [10.1088/0960-1317/20/4/045010]

Two clover-shaped piezoresistive silicon microphones for photo acoustic gas sensors

SANGINARIO, ALESSANDRO;
2010

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