Archivio Istituzionale della RicercaResidual stress measurement method in MEMS microbeams using frequency shift data / Soma', Aurelio; Ballestra, A.. - In: JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING. - ISSN 0960-1317. - 19 No 9:(2009). [10.1088/0960-1317/19/9/095023]
Residual stress measurement method in MEMS microbeams using frequency shift data
SOMA', AURELIO;
2009
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https://hdl.handle.net/11583/2292714
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