Mechanical fatigue analysis of gold microbeams for RF-MEMS applications by pull-in voltage monitoring / DE PASQUALE, Giorgio; Soma', Aurelio; Ballestra, A.. - In: ANALOG INTEGRATED CIRCUITS AND SIGNAL PROCESSING. - ISSN 0925-1030. - 61:(2009), pp. 215-222. [10.1007/s10470-009-9295-9]
Mechanical fatigue analysis of gold microbeams for RF-MEMS applications by pull-in voltage monitoring
DE PASQUALE, GIORGIO;SOMA', AURELIO;
2009
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https://hdl.handle.net/11583/1953972
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