Experimental validation of compact damping models of perforated MEMS devices / Veijola, T; DE PASQUALE, Giorgio; Soma', Aurelio. - In: MICROSYSTEM TECHNOLOGIES. - ISSN 0946-7076. - 15:(2009), pp. 1121-1128. [10.1007/s00542-009-0793-6]
Experimental validation of compact damping models of perforated MEMS devices
DE PASQUALE, GIORGIO;SOMA', AURELIO
2009
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https://hdl.handle.net/11583/1953971
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