Archivio Istituzionale della RicercaStructural and electrical investigation of high temperature annealed As-implanted Si crystal / Bocchi, C., Felisari, L., Catellani, A., Cicero, G., GERMINI F., G.E., MOSCA R., N.L., MUKHAMMEDZANOV E., K.h., Chuev, M.A., Camalleri, M.A.C.D.. - In: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY. B. - ISSN 1071-1023. - 23:(2005), p. 1504.
Structural and electrical investigation of high temperature annealed As-implanted Si crystal
CICERO, Giancarlo;
2005
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https://hdl.handle.net/11583/1905839
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