Silicon laterally resonant microcantilevers for absolute pressure measurement with integrated actuation and readout / Cocuzza, Matteo; Ferrante, Ivan; Ricci, Alessandro; Giuri, Eros; Scaltrito, Luciano; D., Bich; A., Merialdo; P. SCHINA AND R., Correale. - In: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY. B. - ISSN 1071-1023. - 26:(2008), pp. 541-550.

Silicon laterally resonant microcantilevers for absolute pressure measurement with integrated actuation and readout

COCUZZA, MATTEO;FERRANTE, IVAN;RICCI, ALESSANDRO;GIURI, EROS;SCALTRITO, LUCIANO;
2008

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