Archivio Istituzionale della RicercaSilicon laterally resonant microcantilevers for absolute pressure measurement with integrated actuation and readout / Cocuzza, M., Ferrante, I., Ricci, A., Giuri, E., Scaltrito, L., D., B., A., M., P. SCHINA AND R., C.. - In: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY. B. - ISSN 1071-1023. - 26:(2008), pp. 541-550.
Silicon laterally resonant microcantilevers for absolute pressure measurement with integrated actuation and readout
COCUZZA, MATTEO;FERRANTE, IVAN;RICCI, ALESSANDRO;GIURI, EROS;SCALTRITO, LUCIANO;
2008
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https://hdl.handle.net/11583/1873901
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