Optimisation of a Multitarget Sputtering System for the production of thin films and multi-layers / Chiolerio, Alessandro; Martino, Paola. - In: VACUUM INTERNATIONAL. - 2:(2008), pp. 2-9.
Optimisation of a Multitarget Sputtering System for the production of thin films and multi-layers
CHIOLERIO, ALESSANDRO;MARTINO, PAOLA
2008
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https://hdl.handle.net/11583/1849111
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