Numerical and experimental validation of out-of-plane resonance closed formulas for MEMS suspended plates with square holes / DE PASQUALE, Giorgio; Soma', Aurelio. - In: MICROSYSTEM TECHNOLOGIES. - ISSN 0946-7076. - 15:(2009), pp. 391-400. [10.1007/s00542-008-0668-2]

Numerical and experimental validation of out-of-plane resonance closed formulas for MEMS suspended plates with square holes

DE PASQUALE, GIORGIO;SOMA', AURELIO
2009

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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11583/1847850
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