Archivio Istituzionale della RicercaComparative numerical study of FEM methods solving gas damping in perforated MEMS devices / DE PASQUALE, Giorgio; Veijola, T.. - In: MICROFLUIDICS AND NANOFLUIDICS. - ISSN 1613-4982. - 5:(2008), pp. 517-528. [10.1007/s10404-008-0264-x]
Comparative numerical study of FEM methods solving gas damping in perforated MEMS devices
DE PASQUALE, GIORGIO;
2008
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https://hdl.handle.net/11583/1847808
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