Silicon microcantilevers with different actuation-readout schemes for absolute pressure measurement / Bianco, Stefano; Cocuzza, Matteo; Ferrante, Ivan; E., Giuri; Pirri, Candido; A., Ricci; Scaltrito, Luciano; D., Bich; A., Merialdo; P. SCHINA AND R., Correale. - In: JOURNAL OF PHYSICS. CONFERENCE SERIES. - ISSN 1742-6588. - 100:(2008), pp. 1-4.

Silicon microcantilevers with different actuation-readout schemes for absolute pressure measurement.

BIANCO, STEFANO;COCUZZA, MATTEO;FERRANTE, IVAN;PIRRI, Candido;SCALTRITO, LUCIANO;
2008

File in questo prodotto:
File Dimensione Formato  
44935_UPLOAD.pdf

non disponibili

Tipologia: Altro materiale allegato
Licenza: Non Pubblico - Accesso privato/ristretto
Dimensione 1.18 MB
Formato Adobe PDF
1.18 MB Adobe PDF   Visualizza/Apri   Richiedi una copia
Pubblicazioni consigliate

Caricamento pubblicazioni consigliate

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: http://hdl.handle.net/11583/1750066
 Attenzione

Attenzione! I dati visualizzati non sono stati sottoposti a validazione da parte dell'ateneo