Archivio Istituzionale della RicercaSilicon microcantilevers with different actuation-readout schemes for absolute pressure measurement / Bianco, S., Cocuzza, M., Ferrante, I., E., G., Pirri, C., A., R., Scaltrito, L., D., B., A., M., P. SCHINA AND R., C.. - In: JOURNAL OF PHYSICS. CONFERENCE SERIES. - ISSN 1742-6588. - 100:(2008), pp. 1-4.
Silicon microcantilevers with different actuation-readout schemes for absolute pressure measurement.
BIANCO, STEFANO;COCUZZA, MATTEO;FERRANTE, IVAN;PIRRI, Candido;SCALTRITO, LUCIANO;
2008
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https://hdl.handle.net/11583/1750066
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