Numerical and experimental comparison of MEMS suspended plates dynamic behaviour under Squeeze film damping effect / Soma', Aurelio; DE PASQUALE, Giorgio. - In: ANALOG INTEGRATED CIRCUITS AND SIGNAL PROCESSING. - ISSN 0925-1030. - 57 n. 3:(2008), pp. 213-224. [10.1007/s10470-008-9165-x]
Numerical and experimental comparison of MEMS suspended plates dynamic behaviour under Squeeze film damping effect
SOMA', AURELIO;DE PASQUALE, GIORGIO
2008
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https://hdl.handle.net/11583/1725571
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